科目名[英文名]
電気電子工学特別講義（計測工学特別講義）   [Advanced Lectures on Electrical and Electronics Engineering]
区分	工学部専門科目等	選択必修		単位数	2
対象学科等		対象年次	3～4	開講時期	2学期
授業形態	2学期	時間割番号	025708
責任教員 [ローマ字表記]
羽持 満, 涌井 伸二   [HAMOCHI Mitsuru, WAKUI Shinji]
所属	工学府	研究室		メールアドレス

概要

本科目では，電子顕微鏡を具体事例として、ナノメータオーダ以下の微振動の調査･対策手法に関して学習します． 　科目の前･中半では，電子顕微鏡の概要が説明され、その性能が微振動によって律速されていることを理解します．そして、ナノオーダの微小振動領域における特殊性に関して知識を得ます。現実の製品に対して如何に簡易的な振動系のモデル化を行うかを学習します。 　科目の中･後半では，現実に起こった微振動問題の調査から対策までの過程を具体例とし、種々の計測法、計測器の特徴について学びます。

到達基準

振動の基礎的な理論の習得だけではなく，泥臭い現場的な調査･対応方法に関する知識を得ることで、将来役立てられることを目指します。 （１）1自由度系の振動理論、周波数解析の理論と応用解析手法を知ること （２）理論に合わない･理想化できない現実系に対応できるようになること。 を目標とします．

授業内容

第１回 オリエンテーション、電子顕微鏡の概要 第２回 性能を律速する種々の外乱要素 第３回 振動概論、フーリエ解析の復習 第４回 磁場シールドの影響対策 第５回 1自由度振動系によるモデル化 第６回 前日の復習、一般機械の振動対策 第７回 モーダル解析とモードシェイピング 第８回 転がり要素の微小変位内非線形ばね性 第９回 アクティブ制御の問題点とビーム偏向補償器 第10回 微小振動領域の特殊性 第11回 前日の復習、広帯域動吸振器 第12回 試料ホルダのサブÅ振動の対策 第13回 ODS解析と高周波床振動伝達の抑制 第14回 電子光学的剛性-光学系を考慮した設計 第15回 まとめ、試験

履修条件・関連項目

履修条件は特にありません。

テキスト・教科書

テキストは、当日講義内容をプリントして配布します。

参考書

成績評価の方法

3日間の集中講義のうち、最初の2日間は授業の最後に小テストを実施します・3日目に理解度を評価するための最終テストを行います。

教員から一言

私自身、学生の頃に習った教科の多くは、何に応用されるのかが明らかになっていなかったことが学習意欲の減退につながっていたと思います。本講義ではあまり難しい数式などは出てきませんが、仕事をして初めて役に立った基礎的な理論について勘所をお伝えできればと思っています。

キーワード

電子顕微鏡，ナノメートル，微振動，モーダル解析

オフィスアワー

集中講義のため，授業中に質疑応答時間を設けます．わからないことがあれば，そのつど質問してください．

備考１

耐久レースのような長時間講義ですので、飲み物･お菓子(教室を汚さないもの)など、持ち込んで構いません。寝ないで済むような授業を心がけます。

備考２

参照ホームページ

開講言語

日本語

語学学習科目

更新日付

2020/03/06 11:44:10